EP（电解抛光）级气路系统专为高纯度气体（如半导体制造、生物制药、实验室分析）设计，其核心在于控制污染源、保障气体纯净度与系统密封性。以下是关键施工环节及规范

一、材料选择与处理

管道材质

‌EP级不锈钢管（316L）‌：内壁粗糙度≤0.15μm（Ra值），电化学抛光减少颗粒吸附，适用于99.999%以上高纯气体‌。

特殊气体适配‌：腐蚀性气体（如HCl、Cl₂）需哈氏合金或PTFE内衬管；惰性气体可选BA级（粗糙度≤0.4μm）‌。

阀门与附件

‌隔膜阀/膜片阀‌：避免金属接触污染，密封材料选PTFE或Viton‌。

VCR接头‌：金属密封面配合高精度卡套，泄漏率≤1×10⁻⁹ Pa·m³/s‌。

 ‌二、施工环境与工艺

‌洁净室作业

EP管预制/焊接需在‌万级（ISO 7）以上洁净间‌进行，操作人员着无尘服及防静电手套‌。

管口全程用‌氮气/高纯氩（99.999%）‌ 吹扫保护，封盖前充氩压力≥0.15MPa‌。

焊接技术‌

‌自动轨道氩弧焊（TIG）‌：避免手工焊氧化，充氩保护下双面成型‌。

焊后处理‌：不锈钢刷清除氧化层，氦质谱检漏（保压24小时，压降≤1%）。

管路布局规范

‌坡度设计‌：腐蚀性气体管道设1%-3%坡度，低点加排液阀‌。

‌安全间距‌：可燃气体（如H₂）与氧气管路间距≥1.5m，或设物理隔离‌

三、安全与监控系统

泄漏防护

探测器布局‌：按气体密度安装（H₂探测器在屋顶，Cl₂近地面），联动声光报警‌。

紧急切断阀（ESD）‌：与火灾报警系统联动，30秒内自动关断气源‌。

‌防爆与接地

易燃气体管路全程‌防静电接地‌，电阻值